音圈電機模組 被大力運用于光刻機掩模臺系統(tǒng)。作為芯片制造的核心設(shè)備之一，光刻機對芯片生產(chǎn)的工藝有著決定性影響。

　　據(jù)悉，光刻機按照用途可分為生產(chǎn)芯片的光刻機、封裝芯片的光刻機以及用于LED制造領(lǐng)域的投影光刻機。其中，生產(chǎn)芯片的High End光刻機是中國在半導(dǎo)體設(shè)備制造上的大短板。

　　生產(chǎn)芯片的光刻機又根據(jù)工藝分為High End光刻機和Medium and low end光刻機，雖然在High End光刻機上被荷蘭的阿斯麥所壟斷，但在Medium and low end光刻機方面中國的技術(shù)已經(jīng)較為成熟，且不斷在向High End光刻機突破。

　　拿上海微電子裝備股份有限公司來說，近幾年，其先后推出了IC前道制造光刻機SSX600系列光刻機、IC后道先進封裝SSB500系列光刻機、LED制造SSB300系列光刻機、TFT曝光SSB200系列光刻機。

　　劃重點，上海微電子裝備股份有限公司是咱同茂的合作客戶，先后多次從我司購入高性能音圈電機模組用于產(chǎn)品中，那音圈電機模組在光刻機中具體作用是什么？音圈電機模組主要用于光刻機掩模臺系統(tǒng)，在該系統(tǒng)中音圈電機模組運動工況分為掃描運動和定位運動，其中掃描運動主要完成硅片曝光處理，該運動對定位精度以及速度穩(wěn)定性有非常高的要求，在穩(wěn)定基礎(chǔ)上追求時間的優(yōu)化。音圈電機模組系統(tǒng)具有較低的阻尼比，是光刻機很重要的要件。

　　昆山同茂電子有限公司深耕音圈電機模組領(lǐng)域十余年，同茂造音圈電機模組均采用全新通用化設(shè)計，模塊化結(jié)構(gòu)集成音圈電機，具有高度的靈活性，適用于各種控制方式。

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