近幾年我們機(jī)構(gòu)一直在致力于研究激光微納光刻直寫(xiě)技術(shù)，希望在這方面能有所建樹(shù)，從而打破光刻技術(shù)被海外壟斷的局面，而業(yè)內(nèi)人士都知道，直線(xiàn)電機(jī)是光刻設(shè)備的核心部件之一，所以我們?cè)?a class="attach inline_attach" href="http://www.kepchat.com/product/yqdj.html" target="_blank" title="直線(xiàn)電機(jī)">直線(xiàn)電機(jī)的選擇上可謂“千挑萬(wàn)選 ”，同茂提供的直線(xiàn)電機(jī)產(chǎn)品與我們的需求高度契合，該產(chǎn)品運(yùn)行平滑，速度波動(dòng)小，尤其適合于掃描、微納光刻直寫(xiě)、直寫(xiě)導(dǎo)波管、晶圓影切、AOI高精度缺陷檢測(cè)、倒裝鍵合等各種高精度應(yīng)用場(chǎng)景，對(duì)我們的研究起到了積極的推動(dòng)作用。

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